MICROSCOPIO ELETTRONICO A SCANSIONE SEM (SCANNING ELECTRON MICROSCOPE)
Un
SEM
utilizza
un fascio di elettroni
come
sorgente di radiazioni; la lunghezza d'onda
del
fascio
di elettroni e' minore rispetto a quella della luce visibile
che,
variando
tra 380 nm e 760 nm, risulterebbe troppo grande per l'osservazione di
campioni nanometrici. Gli elettroni del fascio sono prodotti per
effetto termoionico
da
un filo metallico, portato ad alta temperatura. Quando gli atomi
della superficie del campione vengono colpiti dagli elettroni del
fascio, emettono "elettroni secondari" i quali,
opportunamente rilevati, vengono convertiti in impulsi elettrici. Il
fascio di elettroni di un SEM e' altamente focalizzato e muovendosi
lungo la superficie del campione la analizza
porzione
per porzione e ne consente la scansione.
Un SEM fornisce un'immagine del campione completa tridimensionale e molto dettagliata.