MICROSCOPIO ELETTRONICO A SCANSIONE SEM (SCANNING ELECTRON MICROSCOPE)

Un SEM utilizza un fascio di elettroni come sorgente di radiazioni; la lunghezza d'onda del fascio di elettroni e' minore rispetto a quella della luce visibile che, variando tra 380 nm e 760 nm, risulterebbe troppo grande per l'osservazione di campioni nanometrici. Gli elettroni del fascio sono prodotti per effetto termoionico da un filo metallico, portato ad alta temperatura. Quando gli atomi della superficie del campione vengono colpiti dagli elettroni del fascio, emettono "elettroni secondari" i quali, opportunamente rilevati, vengono convertiti in impulsi elettrici. Il fascio di elettroni di un SEM e' altamente focalizzato e muovendosi lungo la superficie del campione la analizza porzione per porzione e ne consente la scansione.

Un SEM fornisce un'immagine del campione completa tridimensionale e molto dettagliata.